經濟型工業(yè)微波設備發(fā)現原煤中的硫以黃鐵礦形式出現,黃鐵礦比煤有更高的損耗角正切,因此利用微波可使黃鐵礦得到選擇性加熱與氣體發(fā)生反應,進行脫硫。而煤不受影響。理想的方法是以持續(xù) 時間為0.1秒的脈沖波進行間歇式加熱,將黃鐵礦石加熱到650℃的高溫。這種方法去硫效果好,不需昂貴的催化劑,節(jié)省資金,能源效率高,環(huán)境污染小。
半導體生產工藝中已經采用微波等離子體技術,進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片;還可用于金屬、合金、非金屬的表面處理;用于等離子體光譜分析可檢測十幾種元素。
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